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      納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統
      納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統

      納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統生產工藝周期短,提高生產效率; 修飾液用量極少,節約成本90%; 閉環的工藝過程,安全系數高。

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      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱
      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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      HMDS烘箱  圖像反轉系統 HMDS涂膠機
      HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機

      HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機使用HMDS(六甲基二硅氮烷)對晶圓表面進行快速、均勻、經濟高效的涂布,以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統還支持圖像反轉,形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負圖像。

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      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對硅片表面進行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉化為疏水性

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      HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱
      HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱

      HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱適用行業:MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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      六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備 工業烘箱
      六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備 工業烘箱

      六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中,通常會用到一些例如藍寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋”甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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      HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )-真空烘箱
      HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )-真空烘箱

      HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在箱內先經過100℃-200℃的去水烘烤,再進行HMDS處理,不需要從箱內傳出,而接觸到空氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有更好的處理效果。

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