產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS預(yù)處理系統(tǒng) > HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

      簡(jiǎn)要描述:

      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

      親水性與疏水性的基本概念

      • 親水性的表面,當(dāng)水滴落在其上時(shí),會(huì)呈現(xiàn)出小于90度的接觸角,表明水能夠在該表面上擴(kuò)散,形成較薄的水膜。

      • 疏水性(HMDS疏水設(shè)備的表面,與之相對(duì),當(dāng)水滴接觸到這樣的表面時(shí),會(huì)形成大于90度的接觸角,水滴能夠在表面上保持幾乎完整的圓形,類(lèi)似荷葉效應(yīng)所展現(xiàn)的那樣。

      晶圓的表面特性,尤其是其對(duì)水的親和性或排斥性,雖然細(xì)微,卻對(duì)芯片的整體性能有著不可忽略的影響。無(wú)論是在涂布光刻膠的制備過(guò)程、清洗環(huán)節(jié),還是在特定薄膜制備過(guò)程中,晶圓表面是否能有效吸水或排水,都直接影響到半導(dǎo)體制造的每一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

      對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響

      • 清洗過(guò)程:親水性的表面能夠確保清洗液更有效地與晶圓表面接觸,進(jìn)而更 CheDI地去除雜質(zhì);而疏水性表面則可能導(dǎo)致清洗不 ,影響后續(xù)制程的質(zhì)量。

      • 光刻過(guò)程:光刻膠需要均勻地覆蓋晶圓表面。親水性的表面有助于光刻膠的均勻鋪展,確保了光刻過(guò)程的精度和均一性;疏水性表面則可能導(dǎo)致光刻膠分布不均,影響芯片的性能。

        HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

           HMDS烘箱涂布是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性,HMDS 一般采用氣相涂布的方式。

        設(shè)備名稱(chēng):HMDS烘箱

      • 設(shè)備型號(hào): JS-HMDS90

      •  內(nèi)腔尺寸:450×450×450(mm)可選其他數(shù)據(jù)

      •  材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

      • 溫度范圍:RT+10-200℃

      • 真空度:≤133pa(1torr)

      • 電源及總功率: AC 22±10% / 50HZ       總功率約2.5KW    

      • HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

        HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱用途

      • HMDS烘箱兼容性:2~12寸晶圓及碎片、方片等

      • 適用行業(yè):MEMS、太陽(yáng)能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。



      COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

      上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱等,歡迎來(lái)電咨詢(xún)HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱詳細(xì)資料等信息
      地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)
      主站蜘蛛池模板: 4480私人午夜yy苍苍私人影院| 久久青草免费91线频观看不卡| 色欧美片视频在线观看| 国内精品久久久久精品| 中文字幕无码免费久久9一区9 | 日韩黄色一级大片| 人人妻人人爽人人澡人人| 被义子侵犯的漂亮人妻中字| 国产精品福利尤物youwu| √天堂中文在线最新版8下载| 日本精品在线观看视频| 亚洲国产精品福利片在线观看| 精品久久久久成人码免费动漫| 国产午夜三级一区二区三| 91av国产精品| 好硬好湿好大再深一点动态图| 久久久久久久久久国产精品免费| 欧美FREESEX潮喷| 亚洲视频在线免费观看| 绝美女神抬臀娇吟| 国产区视频在线| h国产在线观看| 在厨房被强行侵犯中文字幕| 三级日本高清完整版热播| 日韩一区二区三区无码影院| 亚洲午夜精品久久久久久人妖| 狠狠色香婷婷久久亚洲精品| 啪啪网站永久免费看| 高清破外女出血视频| 国产精品大bbwbbwbbw| 99视频都是精品热在线播放| 18禁美女裸体免费网站| 日本xxxxx高清视频| 亚洲一区中文字幕久久| 正在播放国产一区| 免费看三级毛片| 老司机精品视频在线| 国产午夜精品一区二区三区不卡 | aaa毛片视频免费观看| 成人免费在线视频| 久久久久久曰本av免费免费|