產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS預(yù)處理系統(tǒng) > HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

      簡(jiǎn)要描述:

      HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

      親水性與疏水性的基本概念

      • 親水性的表面,當(dāng)水滴落在其上時(shí),會(huì)呈現(xiàn)出小于90度的接觸角,表明水能夠在該表面上擴(kuò)散,形成較薄的水膜。

      • 疏水性(HMDS疏水設(shè)備的表面,與之相對(duì),當(dāng)水滴接觸到這樣的表面時(shí),會(huì)形成大于90度的接觸角,水滴能夠在表面上保持幾乎完整的圓形,類似荷葉效應(yīng)所展現(xiàn)的那樣。

      晶圓的表面特性,尤其是其對(duì)水的親和性或排斥性,雖然細(xì)微,卻對(duì)芯片的整體性能有著不可忽略的影響。無論是在涂布光刻膠的制備過程、清洗環(huán)節(jié),還是在特定薄膜制備過程中,晶圓表面是否能有效吸水或排水,都直接影響到半導(dǎo)體制造的每一個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

      對(duì)半導(dǎo)體制造過程的影響

      • 清洗過程:親水性的表面能夠確保清洗液更有效地與晶圓表面接觸,進(jìn)而更 CheDI地去除雜質(zhì);而疏水性表面則可能導(dǎo)致清洗不 ,影響后續(xù)制程的質(zhì)量。

      • 光刻過程:光刻膠需要均勻地覆蓋晶圓表面。親水性的表面有助于光刻膠的均勻鋪展,確保了光刻過程的精度和均一性;疏水性表面則可能導(dǎo)致光刻膠分布不均,影響芯片的性能。

        HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

           HMDS烘箱涂布是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性,HMDS 一般采用氣相涂布的方式。

        設(shè)備名稱:HMDS烘箱

      • 設(shè)備型號(hào): JS-HMDS90

      •  內(nèi)腔尺寸:450×450×450(mm)可選其他數(shù)據(jù)

      •  材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

      • 溫度范圍:RT+10-200℃

      • 真空度:≤133pa(1torr)

      • 電源及總功率: AC 22±10% / 50HZ       總功率約2.5KW    

      • HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

        HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱用途

      • HMDS烘箱兼容性:2~12寸晶圓及碎片、方片等

      • 適用行業(yè):MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。



      COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

      上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱等,歡迎來電咨詢HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱詳細(xì)資料等信息
      地址:上海奉賢柘林工業(yè)區(qū)3213號(hào)
      主站蜘蛛池模板: 日韩一品在线播放视频一品免费 | 日本理论片午午伦夜理片2021| 亚洲第一区在线| 老司机67194精品线观看| 国产成人免费高清激情明星| 18禁止看的免费污网站| 在车里被撞了八次高c| 三级伦理在线播放| 日本在线观看中文| 亚洲av无码一区二区乱子伦as| 欧美精品v日韩精品v国产精品| 免费看岛国视频在线观看| 药店打针1_标清| 国产精品后入内射日本在线观看| JIZZ成熟丰满| 性护士movievideobest| 久久人人爽人人爽人人片av高请| 欧美性大战久久久久久久| 四虎影视在线影院在线观看| 麻豆精产国品一二三产品区| 国产精品后入内射日本在线观看| 99视频精品全部免费观看| 影音先锋在线_让看片永远陪伴| 久久久久无码精品国产| 日韩视频在线观看| 亚洲区小说区图片区qvod| 永久免费a∨片在线观看| 免费在线色视频| 美女毛片一区二区三区四区| 国产在线a不卡免费视频| 毛片手机在线观看| 国内精品久久人妻无码不卡| av潮喷大喷水系列无码| 娇妻当着我的面被4p经历| 中文字幕国产日韩| 日本人与物videos另类| 久久精品免费电影| 果冻传媒和91制片厂| 亚洲成色在线综合网站| 欧美激情中文字幕| 亚洲精品乱码久久久久久蜜桃不卡 |