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      HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱

      HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱

      簡要描述:

      HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導體應用的光刻膠粘合促進劑工藝設備,

      HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱

      HMDS(六甲基二硅氮烷)為半導體應用的光刻膠粘合促進劑。

           HMDS烘箱將六甲基二硅胺烷HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版玻璃、石英片、藍寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導體材料表面后經系統加溫,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

      HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱技術性能

      處理產品:2-12寸晶圓及方片均可兼容(可定制)

      材質:內箱采用 316L 級不銹鋼

      溫度范圍:80-200℃

      真空度:≤1torr

      工藝數量:5個工藝設定并保存

      操作界面:智能型彩色人機界面,一鍵完成工藝

      真空泵:無油渦旋真空泵(或旋片油泵)


      HMDS預處理機烘箱其他功能


      HMDS低液位報警提示功能

      工藝數據記錄功能

      脫水烘烤

      溫度保護程序鎖定保護

      圖形反轉功能

      HMDS藥液泄漏報警提示功能


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