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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)（電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會(huì)額外增加泵的高度。
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵說明
IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無油真空泵，易于維護(hù)。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下，變頻驅(qū)動(dòng)電機(jī)均可提供均一的真空性能。
密封設(shè)計(jì)（電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會(huì)額外增加泵的高度。
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵技術(shù)性能
最高抽速 全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)
介質(zhì) | 氣體 |
極限壓力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
最大入口壓力 | 1.0 個(gè)大氣壓 (0 psig) |
推薦的最大連續(xù)入口壓力 | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr) |
標(biāo)稱電壓下最大出口壓力 | 1.34 個(gè)大氣壓 (5 psig) |
入口連接 | NW25 |
排氣口連接 | NW16 |
氣鎮(zhèn) | 0.25 英寸美國標(biāo)準(zhǔn)管內(nèi)螺紋（提供 20 µm燒結(jié)插頭） |
SAE-2 5/16-24 | |
根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣 | 最大 120 g/h |
運(yùn)行環(huán)境溫度 | 5-40 °C （41-104 °F） |
儲(chǔ)存溫度 | –20-60 °C (–4-140 °F) |
馬達(dá)額定功率 | 0.5 HP (350 W)； 3? 變頻驅(qū)動(dòng) |
工作電壓 | 100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz |
馬達(dá)熱保護(hù) | 自動(dòng)熱保護(hù) |
工作速度 | 63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm |
冷卻系統(tǒng) | 風(fēng)冷 |
重量 | 僅泵： 24.74 kg （54.5 磅），運(yùn)輸重量： 28.1 kg （62 磅） |
尺寸（高 × 寬 × 長 (mm)） | 297 × 260 × 420 |
泄漏速度（密封排氣口時(shí)） | < 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s) |
噪音水平 | 53 +/- 2 dB (A) |
入口處振動(dòng)水平 | 7 mms-1 rms |
計(jì)時(shí)器 | 提供一體式計(jì)時(shí)器 |
輻射與抗擾性 | EN 61236-1:2013，屬 A 類設(shè)備 |
安全性 | 通過 EN/IEC 61010 第 3 版認(rèn)證 |
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。
