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      HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱

      HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 真空烘箱

      簡要描述:

      HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

      HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

      通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

      HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

      在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅胺)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

       

      1. 工作室尺寸 300×300×300,450×450×450,550×650×550(mm)可自定

      2.材質(zhì)外箱采用304不銹鋼/冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

      3.溫度范圍  RT+10-250℃

      4. 溫度分辨率  0.1℃

      5. 溫度波動度  ≤±0.5℃

      6. 真空度  ≤133pa(1torr)

      7. 潔凈度  class 100,適用100級光刻間凈化環(huán)境

      8.真空泵  旋片式油泵/干泵

      9.控制儀表  人機界面

      10.擱板層數(shù)  2層

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