HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理
HMDS，即六甲基二硅胺，是半導(dǎo)體光刻工藝中一種常見的耗材。HMDS是一種易揮發(fā)的化學(xué)品，傳送到工藝腔的HMDS是以氣態(tài)形式存在的，其均勻附著在晶圓表面，形成HMDS膜層。
HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理
現(xiàn)有技術(shù)中，涂布過(guò)程一般先在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下對(duì)晶圓進(jìn)行加熱，同時(shí)通入HMDS進(jìn)行涂布，但由于前期氮?dú)獾耐ㄈ耄瑸榱吮ＷCHMDS的濃度及擴(kuò)散效果，必須增加HMDS的通入量，才能使其濃度達(dá)到一定范圍，這樣勢(shì)必造成HMDS的浪費(fèi)，且HMDS為有害氣體，過(guò)高濃度的排放會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重破壞。
HMDS烘箱，HMDS涂布機(jī)技術(shù)參數(shù)
工作室尺寸 | 350×350×350、450×450×450、850×850×850（mm）可自定義 |
材質(zhì) | 外箱采用冷軋板噴塑或304不銹鋼，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-250℃ |
真空度 | ≤133pa（1torr） |
潔凈度 | class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 |
控制儀表 | 人機(jī)界面 |
擱板層數(shù) | 2層 |
HMDS控制 | 可控制HMDS藥夜添加量 |
真空泵 | 旋片式油泵（可選配進(jìn)口無(wú)油泵） |
保護(hù)裝置 | HMDS低液位報(bào)警，HMDS自動(dòng)添加，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)等 |
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