技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) >技術(shù)文章 > 曝光后烤膠臺(tái)/潔凈烘箱PEB烘烤的目的

      曝光后烤膠臺(tái)/潔凈烘箱PEB烘烤的目的

      更新時(shí)間:2024-12-17   點(diǎn)擊次數(shù):681次
        光刻膠在曝光完成后,光刻膠需要經(jīng)過(guò)再一次烘烤,因?yàn)檫@次烘烤在曝光后,所以稱為“曝光后烘烤”,簡(jiǎn)稱后烘或堅(jiān)膜,英文為Post Exposure Bake(PEB)。
       
        曝光后烤膠臺(tái)/潔凈烘箱PEB烘烤的目的--通過(guò)加熱的方式,使得光化學(xué)反應(yīng)能夠充分完成。
       
        對(duì)于酚醛樹(shù)脂體系的光刻膠,PEB可以擴(kuò)散感光劑以消除駐波效應(yīng)。并且,PEB溫度不同時(shí),感光劑的擴(kuò)散距離不同,消除駐波的效果也不一樣。PEB在110度時(shí),消除駐波效應(yīng)明顯。
       
        對(duì)于化學(xué)放大型光刻膠,在后烘過(guò)程中,光酸起到催化光刻膠樹(shù)脂的去保護(hù)反應(yīng)(Deprotection Reaction),又稱為脫保護(hù)反應(yīng)。
        大量實(shí)驗(yàn)表明,烤膠臺(tái)烘烤溫度的起伏是影響線寬均勻性的主要因素之一。在設(shè)置后烘工藝時(shí), 對(duì)熱盤(pán)溫度均勻性的要求一般比軟烘的要求更高。
       
        烤膠臺(tái)/潔凈烘箱PEB烘烤性能
       
        智能型烤膠機(jī)
       
        加熱尺寸:220*220mm(可定制),適用于Ø200毫米(8英寸)圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品;
       
        溫度范圍:RT~300°C
       
        溫度精度:0.1°C;
       
        溫度均勻性:≤±0.5℃;
       
        電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度: 0~30mm;
       
        加熱臺(tái)表面:耐腐蝕硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成;
       
        控制器單元:7寸全彩觸摸屏,高級(jí)PLC控制,實(shí)現(xiàn)在特定時(shí)間內(nèi)自動(dòng)升降,可以定時(shí)取片;
       
        潔凈烘箱
       
        無(wú)塵等級(jí):Class100;
       
        溫度范圍:RT~300/450℃;
       
        溫度均勻度:200℃±3℃;
       
        溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
       
        工作尺寸(mm):
       
        450×450×450
       
        500×500×500
       
        600×700×800(可定制)
       
        可擴(kuò)展功能:
       
        氧濃度檢測(cè),無(wú)塵無(wú)氧烘箱
       
        智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件
       
        掃碼槍?zhuān)瑨叽a溯源,一鍵讀取
       
        自動(dòng)門(mén)控,上位機(jī)程控,機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品
       

      分享到:

      返回列表返回頂部
      COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

      上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營(yíng)產(chǎn)品:無(wú)氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無(wú)氧烤箱
      地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)

      環(huán)保在線

      推薦收藏該企業(yè)網(wǎng)站
      主站蜘蛛池模板: 欧美40老熟妇| 美国式禁忌芭芭拉| 在公车上被一个接一个| 久久久久九九精品影院| 欧美性色黄大片www喷水| 公交车忘穿内裤被挺进小说白| 国产超爽人人爽人人做| 国语自产精品视频在线区| 中文字幕在亚洲第一在线| 最近免费中文字幕中文高清| 亚洲香蕉久久一区二区三区四区| 色屁屁www影院免费观看视频| 国产第一页屁屁影院| 99热99操99射| 成人口工漫画网站免费| 久久综合九色综合网站| 欧美理论片在线观看一区二区| 再深一点再重一点| 野花社区视频www| 国产精品久久久久国产精品| a毛片久久免费观看| 成人片黄网站色大片免费| 久久综合精品国产二区无码| 欧美日韩大片在线观看| 免费A级毛片无码久久版| 老鸦窝在线视频2021| 国产成人mv在线播放| 2019中文字幕在线观看| 天堂草原电视剧在线观看图片高清| 中文网丁香综合网| 日韩电影免费在线观看网站| 亚洲国产小视频| 爱情岛论坛亚洲品质自拍视频| 和僧侣的交行之夜樱花| 野花高清在线观看免费完整版中文 | 探花视频在线看视频| 五月天在线婷婷| 欧美日韩高清一区二区三区电影| 免费a在线观看| 精品免费国产一区二区三区| 国产twink男同chinese|