技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > 碳化硅材料技術對器件可靠性的影響

      碳化硅材料技術對器件可靠性的影響

      更新時間:2023-06-25   點擊次數:935次

        碳化硅產業鏈包含碳化硅粉末、碳化硅晶錠、碳化硅襯底、碳化硅外延、碳化硅晶圓、碳化硅芯片和碳化硅器件封裝環節。其中襯底、外延片、晶圓、器件封測是碳化硅價值鏈中最為關鍵的四個環節,襯底成本占到碳化硅器件總成本的50%,外延、晶圓和封裝測試成本分別為25%、20%和5%。碳化硅材料的可靠性對最終器件的性能有著舉足輕重的意義,基本半導體從產業鏈各環節探究材料特性及缺陷產生的原因,與上下游企業協同合作提升碳化硅功率器件的可靠性。


         然而在碳化硅產業鏈過程中各個工藝階段的烘烤設備是不可少的一部分。

      外延片氮氣烘箱,晶圓堅膜烘箱,碳化硅襯底HMDS烤箱、碳化硅晶圓HMDS烘箱,碳化硅芯片無氧固化爐和碳化硅器件封裝烤箱等一系列設備。

       百級潔凈烤箱,高溫潔凈烘箱用于半導體制造中硅片、碳化硅砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

        HMDS烘箱是六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理的工藝是勻膠前襯底“增附"處理。在光刻中,通常會用到一些例如藍寶石、碳化硅、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會導致后續的光刻顯影環節出現“裂紋"甚至是漂膠等問題。因此必須通過工藝手段改善,這個步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。


      分享到:

      返回列表返回頂部
      COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

      上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
      地址:上海奉賢臨海工業園區818號

      環保在線

      推薦收藏該企業網站
      主站蜘蛛池模板: 久久久久久久久亚洲| 亚洲黄色在线看| 一个人看的毛片| 性感的瑜伽教练| 九九视频精品在线| 爱豆传媒在线视频观看网站入口| 国产午夜福利100集发布| 91精品国产手机| 巨胸喷奶水www视频网站| 久久精品人人做人人爽电影蜜月| 波多野结衣免费观看视频| 四虎影院永久网址| 日本a免费观看| 在公车上忘穿内裤嗯啊色h文| 中文字幕日韩三级片| 校花的好大的奶好爽漫画| 亚洲视频一区在线观看| 老头天天吃我奶躁我的视频 | 亚洲国产一成人久久精品| 看全色黄大色黄大片大学生| 国产亚洲综合久久| jjzz日本护士| 国内精品视频一区二区三区八戒 | eeuss影院ss奇兵免费com| 日产精品久久久久久久性色 | 亚洲国产一区二区三区在线观看 | 一区二区三区在线播放视频| 日本高清色本免费现在观看| 亚洲国产高清美女在线观看| 男女啪啪高清无遮挡免费| 国产XXX69麻豆国语对白| 黄色片网站在线免费观看| 国产精品日韩欧美久久综合| haodiaocao几万部精彩视频| 成年在线网站免费观看无广告| 久久精品影院永久网址| 欧美亚洲国产成人综合在线| 亚洲精品午夜国产va久久| 窝窝视频成人影院午夜在线| 国产91精品久久| 青娱乐国产在线|