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      潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱

      潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱

      簡要描述:

      潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。

      電子級PI(聚酰亞胺)薄膜在半導(dǎo)體及微電子工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用主要表現(xiàn)在以下幾方面:

      1、粒子遮擋膜:高純度的聚酰亞胺涂層膜是一種有效的耐輻射和抗粒子的遮擋材料;

      2、微電子器件的鈍化層和緩沖內(nèi)涂層:

      聚酰亞胺作為鈍化層和緩沖保護(hù)層在微電子工業(yè)上應(yīng)用非常廣泛。PI 涂層可有效地阻滯電子遷移、防止腐蝕。PI 層保護(hù)的元器件具有很低的漏電流,可增加器件的機(jī)械性能,防止化學(xué)腐蝕,也可有效地增加元器件的抗潮濕能力。PI 薄膜具有緩沖功能,可有效地降低由于熱應(yīng)力引起的電路崩裂斷路,減少元器件在后續(xù)的加工、封裝和后處理過程中的損傷;

      3、多層金屬互聯(lián)電路的層間介電材料:聚酰亞胺(雋思PI無氧烘箱)材料(主要以PI膜為產(chǎn)品形式)可作為多層布線技術(shù)中多層金屬互聯(lián)結(jié)構(gòu)的層間介電材料。多層布線技術(shù)是研制生產(chǎn)具有三維立體交叉結(jié)構(gòu)超大規(guī)模高密度高速度集成電路的關(guān)鍵技術(shù);

      4、光電印制電路板的重要基材:聚酰亞胺的折射率大小可以通過調(diào)整共聚物的含氟量,含氟量愈高,含氟聚酰亞胺薄膜折射率愈小,從而調(diào)節(jié)折射率的大小,所以波導(dǎo)芯層和包層都可以采用聚酰亞胺。


      潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱性能

      溫度范圍:RT+20~450℃;

      溫度均勻性:≤±1.5%℃;

      升溫速度:0-8℃/min;

      氧濃度:20ppm

      工作尺寸:2-12寸晶圓及方片兼容,可尺寸定制

      電源:AC380V/50HZ,

      操作方式:人機(jī)界面+PLC,自動控制,程式運(yùn)行

      進(jìn)氣口:φ10mmN2進(jìn)氣、流量計控制/可調(diào)

      升溫方式:階梯升溫

      降溫功能:水冷+風(fēng)冷

      潔凈無氧烘箱,氮?dú)鉄o氧 烘箱用途

      無氧烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。




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