高溫無塵無氧烘箱，晶圓無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
高溫無塵無氧烘箱，晶圓無氧烤箱?概述
高溫無塵無氧烘箱，晶圓無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
技術指標
Ø 潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
Ø 升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）
Ø 降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）
Ø 氧含量
(配氧含量分析儀)高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 數據輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀
?安全保護性能
Ø 報警功能： 1）三色燈 2） 超溫報警 3）熱電偶故障報警 4）低水壓報警
Ø 安保功能：1）短路保護
2）漏電保護
3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器
4）電機保護，電機過電流、水冷保護
5）電磁門禁保護，當溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門
設備環境安裝條件
Ø 環境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
Ø 周圍無強烈震動；
Ø 無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，
Ø 周圍無強烈電磁場影響；
Ø 周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；
Ø 百級潔凈車間；
Ø 周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應在直接吹到箱體上；
Ø 設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態；
Ø 安裝設備使用空開電源 ；
