SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗
SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱概述
SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高精度溫度控制精度。
技術參數
主要技術指標
Ø 無塵等級：Class 100;
Ø 溫度均勻度：±2℃;
Ø 溫度波動度：±0.5℃（空載）；
Ø 溫控精度：±0.1℃;
Ø 進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;
Ø 排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;
