BCB無氧烘箱，BCB固化烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

PI真空烘箱，真空無氧PI烤箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

精密充氮烘箱，多箱式氮?dú)夂嫦溥m用于半導(dǎo)體烘烤工藝，五金，塑膠，玻璃制品，陶瓷，電子元器件，線路板的印刷，涂裝，點(diǎn)膠低溫預(yù)烤和高溫固化等。

無氧烘箱，光刻膠固化烘箱應(yīng)用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化，光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求

熱風(fēng)真空烘箱，真空+鼓風(fēng)一體烘箱主要用于BCB固化、PI固化、其他光刻膠固化、LCP熱處理等工藝

LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦涮幚砗蟮腖CP的耐氣候性、耐輻射性良好，具有優(yōu)異的阻燃性，能熄滅火焰而不再繼續(xù)進(jìn)行燃燒。

鼓風(fēng)式真空烘箱，真空鼓風(fēng)干燥箱用于半導(dǎo)體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。